深紫外激光直写光刻机
$1,999.00
产品简介
超透镜制造与表征工具
超透镜制造与表征工具，该工具可在非真空环境下使用4英寸玻璃晶圆进行超透镜原型制作和小批量生产，具有快速周转能力。
6轴精度
配备最高6轴精度的压电写入平台。
超临界透镜技术
采用超临界透镜技术，可将激光光斑尺寸减少至<100纳米。
应 用 场 景 工艺研究机构快速流片
尺 寸 0.65m（长） x 0.60m（宽） x 0.95m（高）
刻 写 参 数
最小特征尺寸：最小120 – 150nm
最小线宽：90nm
激光源：266nm
刻写速度：最大100mm/s
最大曝光面积：135mm x 85mm
自动对焦补偿范围：±100nm
表面粗糙度：≤20nm
可重复性：±2 / ±2 / ±3nm
基板尺寸：最小1cm x 1cm或1cm，最大4” x 4”或Ø4”
设 施 要 求
额定电流：5.75A
额定电压：230VAC，50/60Hz
